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　　烘干区包含四个加热区：ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4， 其间ZONE 4 为对流加热区，坐落其它三个温区上部，每个加 热区温度独自可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到 500摄氏度，但进程温度不该超越300摄氏度。

　　烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除 浆猜中的有质成分、完结铝背场及栅线烧 结。硅片在炉中，上、下双面能一起烧结， 烧结进程如下：

　　➢对第三道丝印后硅片外表浆料进行烘干 ➢去除浆猜中的有质粘结剂 ➢铝背场及栅线

　　➢ 关机进程则与开机进程相反，需注意：当炉温降到100度左右时，方可 将传送带停下。

　　监控程序简直能定位一切毛病，当毛病产生时，报警体系 会发出声光报警，并或许停炉。可翻开“Alarm” 标签，观察 报警信息，判别毛病方位，剖析毛病原因，并扫除一些毛病。 常见的毛病报警及处理： ➢ 空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设备部作处理。 ➢ 紧缩空气中有很多水份和油份，加大流量，扫除堆集在流量计 中的水份，一起提请设备部设法滤去紧缩空气中的水份和油份。 ➢ 冷凝器排风量过小，开大风门，一起提请设备部加大抽风量。 ➢ 冷却水温度过高，提请设备下降水温。 ➢ HTO过滤器阻塞，用风枪吹洗过滤器。 ➢ 传送带过长，调整链带长度。 ➢ 温度超出设定充许规模，查看设定值是否适宜，并件恰当调整。 ➢ 加热管烧断，替换加热管。 ➢ 固态继电器烧坏，替换继电器。

　　1. 慢速敞开冷却水主给水阀，给烧结炉供水。一般各管道给水阀和流量 已设定好，勿需调理。

　　2. 慢速敞开紧缩空气主阀，炉子供给进程气体，一起给各气缸供给紧缩 空 。一般各管道流量已设定好，勿需调理。

　　3. 将主电源开关拨到“1”，敞开主电源。 4. 发动PC，等候机器完结自检和监控程序装入。 5. 将“Drive On”拨到“1”，“Drive PC/Manual”拨到“0”，将

　　传送带 。 7. 假如有设置好的升温程序，次序装入，使炉子逐渐升温到进程温度。

　　假如没有，则手动设置，每200度为一阶，逐渐升温到进程温度。第 一次装入后，需点击加热收音开关，开端加热 。 8. 依据工艺技术要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当 进程值到达设定值后，机便处于安排妥当状况。

　　烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个阻隔炉膛， 经过风帘阻隔，阻隔炉膛避免相邻区域中的进程气体彼此混合。

　　除了上述三个首要部格外，在炉体头部有上料区，在尾 部有下料区，外加一个独自的冷凝器，冷凝前言为冷却水。